전기전자공학과 석사과정 오성은 학생(플라즈마 및 전력반도체 연구실, 지도교수 이호준)이 한국반도체디스플레이기술학회가 주관한 KISM 2025(국제 반도체 제조기술 학술대회)에서 우수 논문 발표상(Best Paper Award)을 수상하였다.

 올해로 4년째 개최된 반도체 제조 기술 국제학술대회인 KISM은 지난 11월 10일부터 14일까지 5일간 부산 파라다이스호텔에서 열렸다.

 이번 학술대회는 ‘인공지능 생태계를 위한 반도체 제조 기술의 혁신’을 주제로, 전 세계 15개국에서 1,000여 명의 산학연 전문가가 참석해 반도체 산업의 최신 기술 및 연구 성과를 공유하였다.

 오성은 학생은 “Investigation of Plasma Density Distribution and Electron Heating Mechanisms in Capacitively Coupled Plasma”라는 제목으로, 반도체 식각 공정 장비에서 플라즈마 밀도 불균일성의 원인을 분석한 내용에 대해 구두 발표를 진행하였으며, “Advanced Etching Technology” 분과에서 학술적 우수성을 인정받았다.

* 사진: 수상 기념 촬영(오른쪽 오성은 학생)